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位置決め装置の実用的な高速高精度化技術

  • 公開日: 2020-09-10
  • 変更日: 2020-09-14
位置決め装置の実用的な高速高精度化技術
位置決め装置の実用的な高速高精度化技術
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制御工学の知見を用いることで，ハードウェアの
改善なしに，機器のパフォーマンスを向上させる。
・複数センサを用いたフィードバック帯域の高帯域化
・ボールねじステージの高速高精度位置決め制御
・空圧式アクティブ除振装趾の除振率拡大
・原子間力顕微鏡の高速イメージング
・逆ぶれを起こさないための制御
・2足歩行ロボットの制振制御
・ピエゾアクチュエータの制御
・多慣性系の制振制御
企業メリット
・制御工学の知見を用いて制御系を設計すると，現状のハードウェアのまま
（コストアップなし，仕様変更なし）で性能向上が実現できる。
キーワード
・高速高精度位置決め制御、制振制御、センシング
主要な研究テーマ
・ナノスケールの高速高精度位置決め制御
・複数センサを用いたフィードバック帯域の高帯域化
・クレーンなどで逆ぶれさせない軌道追従制御
技術相談に応じられる分野
・PID制御での最適設計，PID制御を越えるスペックを得るための制御設計，システム同定
利用可能な装置等
・DSP(dSPACE), Matlab, レーザー変位計

カテゴリ　：　シーズ（得意な技術・サービス等）
対象エリア：　選択なし
有効期限　：　無期限

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