静電気発生箇所可視化方法及び可視化装置 (特許第5374687号)
- 公開日: 2019-05-27
- 変更日: 2021-01-21
- 投稿者:鹿児島県工業技術センター 企画支援部
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本発明は,電子関連の製造現場などで深刻化している,静電気放電トラブルに対応するため,製造現場で静電気放電が発生しないか,複数の受信アンテナとビデオカメラで監視し,放電を検出したら,放電源座標を瞬時に算出し,放電位置を被測定物の画像上にマーキング表示することで,ほぼリアルタイムに放電の発生状況を可視化することができます。
本発明は,静電気放電の発生を検知し,発生座標を算出し,画像上で可視化する方法や装置に関するものです。
従来の放電検知機では,放電発生を知らせるLED表示やブザー音を頼りに,試行錯誤しながら発生源を探し出していましたが,検出範囲が狭く,レスポンスも遅い等の問題がありました。
本発明に基づく可視化装置は,4本の受信アンテナ,ビデオカメラ,計測器(デジタルオシロスコープ),制御用PC等で構成されます。可視化装置を被測定物の近くに設置し,静電気放電に伴う電磁波の発生を監視するとともに,被測定物のビデオ画像を制御用PCのメモリ上で無限ループ保存し続けます。放電に伴う電磁波を検知したら,電磁波が各アンテナへ到達した時間差を求め,双曲線法を用いて,放電源の座標を算出し,放電が発生した瞬間のビデオ画像(静止画)の該当位置にマーキング表示することで,ほぼリアルタイムに放電源を特定することができます。
PCのハードディスクに保存された,放電発生前後のビデオ画像にマーキング処理を施し再生することで,どのような挙動で放電が発生したかを,繰り返し確認することもできます。
本発明は,被測定物で静電気放電が発生した状況を,ほぼ,リアルタイムに,画像上
で可視化する技術です。電子関連業界をはじめ,放電現象が問題となる幅広い分野で活用できます。
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